潔淨(jìng)室裡存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。HVAC係統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片製造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，儘可能地壓縮前期投入，而不顧後期運(yùn)行費(fèi)用。高效率的設(shè)計(jì)和高效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。

3、根據(jù)“立方定則”，風(fēng)機(jī)能耗的變化與流量變化的立方成正比。如果空氣流量降低50%，風(fēng)機(jī)能耗將下降88%。因此，較大尺寸的空氣處理器、較大的過濾器和盤管麵積消耗較少的風(fēng)機(jī)能量，可以使用比較小的風(fēng)機(jī)和馬達(dá)。小風(fēng)機(jī)給空氣添加的熱量比較少，降低了冷卻的難度。厚度小的盤管更容易清洗、工作效率更高，所以冷凍水的溫度可以更高。過濾器在低斷麵風(fēng)速情況下，工作效果更好、壽命更長。目標(biāo)是使能量損耗降低至少25%，減小變速風(fēng)機(jī)的大小。優(yōu)的斷麵風(fēng)速範(fàn)圍是250-450英尺/分鐘（1.27-2.29m/s），具體取決於使用情況和能量消耗。

2、空氣潔淨(jìng)度比節(jié)約能耗更重要，但是新的研究成果已經(jīng)有降低潔淨(jìng)成本的記載了。關(guān)於換氣次數(shù)還冇有達(dá)成共識。許多原則都已過時(shí)，是建立在老觀念上，采用低效的空氣過濾器。調(diào)查顯示，ISO第5級標(biāo)準(zhǔn)的潔淨(jìng)室推薦的換氣次數(shù)變化範(fàn)圍是從250到700以上。

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