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什麼是無塵潔淨(jìng)室光學(xué)實(shí)驗(yàn)室使用相關(guān)
日期:2024-08-21 12:58
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摘要:
一、無塵潔淨(jìng)室構(gòu)成是由下列各項(xiàng)係統(tǒng)所組成:
A、空調(diào)淨(jìng)化係統(tǒng):空調(diào)機(jī)組、空氣過濾器係統(tǒng)、管道等。
B、天花板係統(tǒng):包括吊桿、綱梁、彩鋼板天花等。
C、隔牆與立牆:牆、窗戶、門。
D、地板:PVC地板、高架地板、防靜電地板。
E、照明係統(tǒng):日光淨(jìng)化燈、紫外燈管等。
二、潔淨(jìng)等級(jí)劃分:十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)、三十萬級(jí)等靜態(tài)。聯(lián)邦209E標(biāo)準(zhǔn):每立方英尺空間內(nèi)粒徑為0.5um的粒子不超過多少個(gè)。
三、光學(xué)實(shí)驗(yàn)室使用相關(guān):
1、進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室後,應(yīng)先戴上手套後,再取鑷子,以免沾汙。
2、唯有使用乾淨(jìng)的鑷子,才可持取芯片,鑷子一旦掉在地上或被手觸碰,或因其它原因而遭汙染,必須拿去清洗,方可再使用。
3、持鑷子應(yīng)采"握筆式"姿勢挾取芯片。
4、鑷子使用後,應(yīng)放於各站規(guī)定處,不可任意放置,如有特殊製程用鑷子,使用後應(yīng)自行保管,不可和實(shí)驗(yàn)室內(nèi)各站之鑷子混合使用。
5、挾取芯片時(shí),順序應(yīng)由後向前挾取,放回芯片時(shí),則由前向後放回,以免刮傷芯片表麵。
6、鑷子僅可做為挾取芯片用,不準(zhǔn)做其它用途。
7、挾取芯片時(shí),"短邊" (鋸狀頭)置於芯片正麵,"長邊" (平頭)置於芯片背麵,挾芯片空白部分,不可傷及芯片。
8、嚴(yán)禁將鑷子接觸酸槽或水槽中。
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