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什麼是微電子淨(jìng)化工程解決方案相關(guān)

日期:2024-08-21 12:01
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摘要:什麼是微電子淨(jìng)化工程解決方案相關(guān), 無(wú)塵車間梓成淨(jìng)化在此與大家一起去探討一下。
什麼是微電子淨(jìng)化工程解決方案相關(guān), 無(wú)塵車間梓成淨(jìng)化在此與大家一起去探討一下。

一、微電子技術(shù)是建立在以集成電路為核心的各種半導(dǎo)體器件基礎(chǔ)上的高新電子技術(shù),特點(diǎn)是體積小、重量輕、可靠性高、工作速度快,微電子技術(shù)對(duì)信息時(shí)代具有巨大的影響。


二、微電子無(wú)塵潔淨(jìng)室三塵原則:
A、禁塵。即指整個(gè)無(wú)塵潔淨(jìng)室內(nèi)禁止有塵埃,而且還明文規(guī)定在多少範(fàn)圍內(nèi)的氣流多少。
B、帶塵。禁止人員帶塵進(jìn)入無(wú)塵潔淨(jìng)室,任何進(jìn)入無(wú)塵潔淨(jìng)室的人員全部能過(guò)風(fēng)淋室緩衝通道吹淋後方可進(jìn)入。(風(fēng)淋室是員工進(jìn)入潔淨(jìng)室或無(wú)塵車間必備的淨(jìng)化設(shè)備之一,它可以有效地減少員工進(jìn)出潔淨(jìng)室所帶來(lái)的汙染問(wèn)題,對(duì)進(jìn)入無(wú)塵潔淨(jìng)室車間中起到很大作用。
C、產(chǎn)塵。禁止無(wú)塵潔淨(jìng)室車間內(nèi)部產(chǎn)塵,四周禁止有塵埃死角盲區(qū),全部采用內(nèi)、外圓弧收邊


三、微電子淨(jìng)化工程解決方案相關(guān):

A、微電子淨(jìng)化工程一般包括:
1潔淨(jìng)生產(chǎn)區(qū)
2、潔淨(jìng)輔助間(包括人員淨(jìng)化用房、物料淨(jìng)化用室和部分生活用室等)
3、管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、設(shè)備區(qū)(包括淨(jìng)化空調(diào)係統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
B、微電子淨(jìng)化工程淨(jìng)化參數(shù):
1、換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;100030次。壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
2、平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0、305m/s。
3、溫度冬季>16;夏季26;波動(dòng)±2。溫度4565%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
4、噪聲≤65dBA);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX
C、微電子淨(jìng)化工程結(jié)構(gòu)材料
1、淨(jìng)化廠房牆、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板製造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧牆角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材製造。
2、地麵可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板製成,貼淨(jìng)化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4、高效送風(fēng)口用不鏽鋼框架,美觀清潔,衝孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生鏽不粘塵,宜清潔。
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